Особенности изготовления дисков-оригиналов для систем лазерной записи информации

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення інформатики
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2004 (том 6)
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2004, № 3
→
Переглянути статтю

Особенности изготовления дисков-оригиналов для систем лазерной записи информации

Атамась, В.А. ; Крючин, А.А. ; Петров, В.В.

Інші назви: Особливості виготовлення дисків-оригіналів для систем лазерного запису інформації
Features of Manufacturing Master Disks for Laser Information Recording Systems

Тема: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних

УДК: 004.085.2

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50687

Посилання: Особенности изготовления дисков-оригиналов для систем лазерной записи информации / В.А. Атамась, А.А. Крючин, В.В. Петров // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2004. — Т. 6, № 3. — С. 19-24. — Бібліогр.: 8 назв. — pос.

Підтримка: Авторы выражают глубокую благодарность специалистам Института проблем регистрации информации НАН Украины: В.Н. Зенину, В.Д. Ковтуну, В.А. Заболотному, А.В. Ковальчуку, П.В. Майстренко, принимавшим участие в разработке технологического оборудования нанесения фоторезиста; Ю.А. Бородину, В.Н. Христину, осуществлявшим запись информации на дисках-оригиналах; также специалистам Института физики полупроводников П.А. Литвину и С.А. Костюкевичу, выполнявшим исследования поверхности дисков-оригиналов.

Дата: 2004

Завантажень: 747

Особенности изготовления дисков-оригиналов для систем лазерной записи информации

Анотація:

Рассмотрен процесс нанесения на диски-оригиналы тонких пленок позитивного фоторезиста и подготовки дисков-оригиналов к записи информации. Приведены результаты анализа причин появления дефектов на пленках позитивного фоторезиста, проявляющихся в процессе записи информации.

Розглянуто питання нанесення на диски-оригінали тонких плівок позитивного фоторезисту і підготовки дисків-оригіналів до запису інформації. Наведено результати аналізу причин появи дефектів на плівках позитивного фоторезисту, що проявляються в процесі запису інформації.

A process of deposition on master disks of thin positive photoresist films and preparation of master disks for information recording is considered. The results of the analysis of causes of appearing defects on positive photoresist films which manifest themselves in the process of information recording are given.

Показати повний запис статті