На основі чисельного моделювання параметрів сфокусованого лазерного пучка та спрощеної моделі фоторезисту розглянуто особливості оптичних систем для створення дисків-оригіналів за допомогою пучка світла фіолетового лазера. Розглянуто дві оптичні системи: твердотільно-імерсійну оптичну систему з використанням лінійного фоторезисту та високоапертурну оптичну систему з використанням фоторезисту з термічним порогом. Аналіз твердотільно-імерсійної оптичної системи показав, що для цього методу необхідно сканування поверхні диска з точністю до одиниць нанометрів для досягнення варіації розмірів пітів у допустимих межах. Розгляд методу на основі фоторезисту з чітко вираженим температурним порогом показав, що метод потребує зменшення амплітуди флуктуацій інтенсивності лазерного випромінювання і сканування поверхні оптичною системою з підтримкою висоти з точністю до декількох десятків нанометрів.
На основе численного моделирования параметров сфокусированного лазерного пучка и упрощенной модели фоторезиста рассмотрены особенности оптических систем для создания дисковоригиналов при помощи пучка света фиолетового лазера. Рассмотрены две оптические системы: твердотельно-иммерсионная оптическая система с использованием линейного фоторезиста и высокоапертурная оптическая система с использованием фоторезиста с термическим порогом. Анализ твердотельно-иммерсионной оптической системы показал, что для этого метода необходимо сканирование поверхности диска с точностью в единицы нанометров для достижения вариации размеров питов в допустимых пределах. Рассмотрение метода на основе фоторезиста с четко выраженным температурным порогом показал, что метод требует уменьшения амплитуды флуктуаций интенсивности лазерного излучения и сканирования поверхности оптической системой с поддержкой высоты с точностью в несколько десятков нанометров.
On the basis of numerical simulation of focused laser-beam parameters and photoresist simplified model the features of optical systems for creating master disks using a violet laser beam are considered. Two optical systems, namely a solid-immersion optical system using a linear photoresist and a highaperture optical system using a thermal-threshold photoresist are considered. The analysis of the solidimmersion optical system showed that this method needed scanning the disk surface with an accuracy to units of nanometers to achieve variations of pit size within permissible limits. Considering the method based on the photoresist with the particularly pronounced temperature threshold has shown that the method required decreasing the amplitude of the intensity fluctuations of laser radiation and to scan the surface by the optical system with support for height with an accuracy to several tens of nanometers.
