Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Influence of magnetic field configuration and strength on plasma parameters and efficiency of coatings deposition in magnetron sputtering system

Репозиторій DSpace/Manakin

Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис