Kinetics of Ar2+, Ar2* and Ar* in volume barrier discharge in argon

Abstract

By means of computer simulation it is shown that Ar2+, Ar2* and Ar* species possess maximum concentration in volume barrier discharge in argon. Dependencies of concentrations of these species on the discharge parameters are obtained. Dependencies of characteristics of Ar2+ ion flows from the discharge plasma are determined experimentally.

При помощи компьютерного моделирования показано, что наибольшую концентрацию в объемном барьерном разряде на аргоне имеют частицы Ar2+, Ar2* и Ar*. Найдены зависимости концентраций этих частиц от параметров разряда. Экспериментально установлены характеристики потоков ионов Ar2+ из плазмы разряда.

За допомогою комп’ютерного моделювання показано, що найбільшу концентрацію в об’ємному бар’єрному розряді на аргоні мають частки Ar2+, Ar2* та Ar*. Знайдено залежності концентрацій цих часток від параметрів розряду. Експериментально встановлено характеристики потоків іонів Ar2+ з плазми розряду.