Влияние параметров импульсного отражательного разряда на его плазменные характеристики

Abstract

Определен элементный состав плотной газометаллической плазмы, состоящей из ионов (атомов) поджигающего газа Ar, материала катода Ti и остаточной атмосферы вакуумной камеры. Измерены параметрические и временные зависимости разрядного тока, средней плотности образованной плазмы. На стадии распада плотности плазмы проведены измерения частоты столкновений частиц плазмы, на основании которых была оценена электронная температура.

Визначено елементний склад густої газометалевої плазми, яка складається з іонів (атомів) запалювального газу Ar, матеріалу катода Ti і залишкової атмосфери вакуумної камери. Виміряно параметричні і часові залежності розрядного струму, середньої густини створеної плазми. На стадії розпаду густини плазми проведено вимірювання частоти зіткнень частинок плазми, на підставі яких була оцінена електронна температура.

The elemental composition of a dense gas-metal plasma comprising ions (atoms) of the igniting gas Ar, cathode material Ti and residual atmosphere of the vacuum chamber is determined. The parametric and time dependences of a discharge current and an average density of plasma formed are measured. At the stage of plasma density decay, the measurements were carried out of the plasma particle collision rate. Basing on the data obtained the electron temperature is evaluated.