Last results of novel plasmaoptical devices investigation

Abstract

The combined system composed of the vacuum arc evaporator and plasmaoptical system with plasma lens (PL) geometry are presented and studied. The plasmadynamical characteristics of high density low energy plasma flow propagating through the PL are investigated. The application of the plasma lens to the transport of low energy highcurrent ion beam can improve the delivery of plasma flow to substrate, as well as provide microdroplet removal by means of the fast electrons within the lens region.

Запропонована та досліджується комбінована система, що складається з вакуумно-дугового джерела плазми та плазмооптичного пристрою в геометрії плазмової лінзи (ПЛ). Досліджено плазмодинамічні характеристики низькоенергетичного плазмового потоку високої щільності, що проходить крізь ПЛ. Застосування ПЛ задля транспортування низькоенергетичних іонних потоків з великим струмом дозволяє покращити проходження плазми до мішені та зменшити вміст мікрокрапель завдяки присутнім в об’ємі лінзи швидким електронам.

Предложена и исследуется комбинированная система из вакуумно-дугового испарителя и плазмооптического устройства в геометрии плазменной линзы (ПЛ). Исследованы плазмодинамические характеристики низкоэнергетического плазменного потока высокой плотности, проходящего через ПЛ. Использование ПЛ для транспортировки низкоэнергетических ионных потоков с большим током позволяет улучшить прохождение плазмы к мишени и уменьшить содержание микрокапель благодаря наличию быстрых электронов в объеме линзы.