Представлено огляд та аналіз методів моделювання мікро- та нанопроцесів. Розглянуто особливості математичних моделей та межі їх використання в залежності від масштабу мікросистем.
Представлен обзор и дан анализ методов моделирования микро- и нанопроцессов. Рассмотрены особенности математических моделей и границы их использования в зависимости от масштабов микросистем.
A review is presented and analysis of methods for modeling micro- and nano flows is given. The features of mathematical models and the limits of their application are considered depending on the scale of microsystems.