Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники

Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники

Филатов, Ю.Д. ; Сидорко, В.И. ; Прихна, Т.А. ; Филатов, А.Ю. ; Ковалев, С.В. ; Боримский, А.И. ; Панова, А.Н. ; Кулич, В.Г. ; Ветров, А.Г. ; Данильченко, Я.Л. ; Сильченко, М.А.

Тема: Разработка и внедрение оборудования и инструмента, оснащенного твердыми сплавами, в различных отраслях промышленности

УДК: 621.371

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137918

Посилання: Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, Т. А. Прихна, А. Ю. Филатов, С. В. Ковалев, А. И. Боримский, А. Н. Панова, В. Г. Кулич, А. Г. Ветров, Я. Л., Данильченко М. А. Сильченко // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2015. — Вип. 18. — С. 472-477. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Дата: 2015

Завантажень: 215

Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники

Анотація:

В результате исследования закономерностей полирования монокристаллического сапфира обоснована целесообразность последовательного применении водных полировальных суспензий из порошков МАХ-фазы ТІ₃АІС₂ и кубического нитрида бора, а также коллоидных систем из наночастиц полировальных порошков.

У результаті дослідження закономірностей полірування монокристалічного сапфіру обґрунтовано доцільність послідовного застосування водних полірувальних суспензій з порошків МАХ-фази Тi₃АІС₂ та кубічного нітриду бору, а також колоїдних систем з наночастинок полірувальних порошків.

As a result of studies of regularities polishing single-crystal sapphire expedience consistent application of water-shaft polishing slurries of MAX-phase powders ТізАІС₂ and cubic boron nitride powders, as well as colloidal systems of nanoparticles polishing powders.

Показати повний запис статті