Физическая природа и новые возможности использования эффектов асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции для диагностики кристаллов с нарушенным поверхностным слоем и дефектами

Abstract

Обсуждаются результаты обнаружения и раскрытия физической природы нового эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции (ПИИДД) рентгеновских лучей за счёт не нарушенного поверхностного слоя (НПС), что описано авторами в предыдущей работе, а крупных дефектов (соизмеримых с длиной экстинкции рентгеновских лучей). Такой новый эффект асимметрии обусловлен уменьшением диффузной составляющей ПИИДД за счёт полного в области брэгговского пика отражения этой составляющей, относительный вклад которого увеличивается с ростом размера дефектов. При этом такая асимметрия оказалась имеющей противоположный знак в сравнении с вызванной НПС, что принципиально улучшает диагностические функциональные возможности при совместном использовании этих эффектов. Обсуждаются также результаты создания на основе обнаруженных двух эффектов асимметрии метода многопараметрической диагностики одновременно и толщины НПС, и характеристик дефектов без ограничений на их размеры и количество их типов.

Обговорюються результати виявлення та розкриття фізичної природи нового ефекту асиметрії азимутальної залежности повної інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції (ПІІДД) Рентґенових променів за рахунок не порушеного поверхневого шару (ППШ), що описано авторами в попередній роботі, а великих дефектів (сумірних із довжиною екстинкції Рентґенових променів). Такий новий ефект асиметрії зумовлено зменшенням дифузної складової ПІІДД за рахунок повного в області Бреґґового піку відбивання цієї складової, відносний внесок якого збільшується зі зростанням розміру дефектів. При цьому така асиметрія, як виявилося, має протилежний знак у порівнянні з викликаною ППШ, що принципово поліпшує діягностичні функціональні можливості при спільному використанні цих ефектів. Обговорюються також результати створення на основі виявлених двох ефектів асиметрії методи багатопараметричної діягностики одночасно і товщини ППШ, і характеристик дефектів без обмежень на їх розміри та кількість їх типів.

We discuss results of detection and discovery of the physical nature of a new effect of azimuthal dependence asymmetry of the total integrated intensity of dynamical diffraction (TIIDD) of X-rays not due to the disturbed surface layer (DSL) that was described in a previous work of authors, but due to the large defects (commensurable with extinction length of X-ray). Such a new asymmetry effect is caused by decreasing of TIIDD diffusion component due to its total reflection (in the region of the Bragg peak), relative contribution of which increases with growth of the defect sizes. Such asymmetry has an opposite sing in comparison with one caused by the DSL that essentially improves the diagnostic functional possibilities at a joint using of these effects. We also discuss results of creation of the multiparameter diagnostics method (based on the two revealed asymmetry effects) for determination simultaneously of both the DSL thickness and the defects’ characteristics without restrictions on their sizes and on number of their types.