Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів і електрофізичні властивості двошарових плівкових систем

Abstract

Представлено узагальнені літературні дані та результати власних експериментальних досліджень структурно-фазового стану, стабільности інтерфейсів та електрофізичних властивостей (термічний коефіцієнт опору (ТКО) і коефіцієнт поздовжньої тензочутливости (КТ)) двошарових плівкових систем Cu/(Co, Ag або Au), Cu/(Cr або Fe) та Fe/Cr. Вибір вказаних систем пов’язаний із стабілізацією в них різних структурно-фазових станів: ґранульованих твердих розчинів (систем на основі Cu і Co, Ag або Au), твердого розчину (Fe/Cr), двошарових систем із збереженням індивідуальности окремих шарів (біпластин) (систем Cu/Cr i Cu/Fe (до 700 К)). Експериментальні результати з ТКО і КТ задовільно або добре узгоджуються зі співвідношеннями для ТКО і КТ біпластини, плівкового стопу або двошарової системи із проміжним шаром твердого розчину біля інтерфейсу. Це служить додатковим арґументом на користь висновків про структурно-фазовий стан двошарової системи.

Представлены обобщенные литературные данные и результаты собственных экспериментальных исследований структурно-фазового состояния, стабильности интерфейсов и электрофизических свойств (термический коэффициент сопротивления (ТКС) и коэффициент продольной тензочувствительности (КТ)) двухслойных пленочных систем Cu/(Co, Ag или Au), Cu/(Cr или Fe) и Fe/Cr. Выбор указанных систем связан со стабилизацией в них различных структурно-фазовых состояний: гранулированных твердых растворов (систем на основе Cu и Co, Ag или Au), твердого раствора (Fe/Cr), двухслойных систем с сохранением индивидуальности отдельных слоев (бипластин) (систем Cu/Cr и Cu/Fe (до 700 К)). Экспериментальные результаты для ТКС и КТ удовлетворительно или хорошо согласовываются с соотношениями для ТКС и КТ бипластины, пленочного сплава или двухслойной системы с промежуточным слоем твердого раствора вблизи интерфейса. Это служит дополнительным аргументом в пользу выводов о структурно-фазовом состоянии двухслойной системы.

The generalized literary data and results of own experimental investigations of structural and phase state, stability of interfaces and electrophysical properties (thermal coefficient of resistance (TCR) and strain-gauge factor (SGF)) for two-layer film systems, Cu/(Co, Ag or Au), Cu/(Cr or Fe) and Fe/Cr, are presented. The choice of these systems is caused by stabilization of various structural and phase states in them such as granular solid solutions (systems based on Cu and Co, Ag or Au), solid solutions (Fe/Cr), two-layer systems with conservation of individuality of separate layers (biplate) (Cu/Cr and Cu/Fe systems (below 700 K)). Experimental results for TCR and SGF agree well or satisfactory with relationships for TCR and SGF of the biplate, film alloy or two-layer system with an intermediate layer of solid solution near the interface. It can serve as an additional argument in favour of conclusions concerning structural and phase state of two-layer system.