Возбуждение факельного СВЧ-разряда в однопроводной линии

Abstract

Приводятся результаты экспериментальных исследований поверхностных волн в однопроводной линии Губо, инициирующих на ее конце факельный СВЧ-разряд эрозионного типа. Рассмотрены два характерных режима работы линии: как штыревой антенны и как линии, передающей СВЧ-энергию в нагрузку (СВЧ-плазмоид) посредством поверхностных плазмон-поляритонов. Описаны конструктивные особенности СВЧ-модуля, а также дополнительных элементов в его внешней цепи, предназначенных для измерения проходящей мощности: ответвителя, аттенюатора и т. п. Обсуждаются перспективы использования линии Губо для передачи СВЧ-энергии в широком диапазоне частот, а также для ряда практических приложений, в том числе для исследования физических свойств новых материалов и полупроводниковых устройств.

Наведено результати експериментальних досліджень поверхневих хвиль в однодротовій лінії Губо, що ініціюють на ії кінці факельний НВЧ-розряд ерозійного типу. Розглянуто два характерні режими роботи лінії: як штирьова антена та як лінія, що передає НВЧ-енергію в навантаження (НВЧ-плазмоїд) за допомогою поверхневих плазмон-поляритонів. Описано конструктивні особливості НВЧ-модуля, а також додаткових елементів у його зовнішньому колі, що призначені для вимірів проходжувальної потужності: відгалужувача, атенюатора та т. ін. Обговорюються перспективи використання лінії Губо для передачі НВЧ-енергії у широкому діапазоні частот, а також для ряду практичних застосувань, у тому числі для дослідження фізичних властивостей нових матеріалів і напівпровідникових пристроїв

Experimental results of surface waves propagating along single-conductor Goubau line and exciting torch MW-discharge of erosion type have been presented. Two characteristic regimes of the line are described: the case when it works like spike antenna and the case when it transmits MW-energy via surface plasmon-polariton to the load, which is MW-plasma. The description of MW setup features and additional elements for transmitted energy measurements in setup external circuit are given. The prospect of Goubau line application as transmitting line of MW energy in wide frequency range and also several possible practical applications of the line in new material processing and semicon-ductor devices development have been discussed.