Возный, А.В.; Ям, Дж.Ю.; Кропотов, А.Ю.; Фареник, В.И.
(Физическая инженерия поверхности, 2006)
При ионно-лучевом травлении диэлектрических образцов через маску субмикронных размеров
зарядка поверхности вызывает искривление траектории ионов, что в конечном итоге делает
невозможным получение более мелких микроструктур. ...