Данько, В.А.; Індутний, І.З.; Луканюк, М.В.; Минько, В.І.; Пономарьов, С.С.; Шепелявий, П.Є.; Юхимчук, В.О.
(Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, 2015)
Описано розроблені фотолітографічні процеси на базі реверсивних та перехідних фотоструктурних змін у відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН). Показано, що негативні протравлювачі на основі амінів ...