Юрченко, Г.В.
(Вопросы атомной науки и техники, 2000)
Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси ...