Аксёнов, Д.С.; Аксёнов, И.И.; Лучанинов, А.А.; Решетняк, Е.Н.; Стрельницкий, В.Е.; Толмачёва, Г.Н.; Юрков, С.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2011)
Для получения Ti-Al-N-покрытий использовалась вакуумно-дуговая система с двухканальным T-образным магнитным фильтром. Покрытия осаждались путём смешивания потоков фильтрованной плазмы от двух источников с катодами из ...