Перегляд за автором "Шамрай, К.П."

Результати 1-4 з 4

Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики

Руденко, Е.М.; Короташ, І.В.; Семенюк, В.Ф.; Шамрай, К.П. (Наука та інновації, 2010)

Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел ...
Геликонный разряд, возбуждаемый плоской антенной вдоль магнитного поля

Слободян, В.М.; Вирко, В.Ф.; Кириченко, Г.С.; Шамрай, К.П. (Вопросы атомной науки и техники, 2003)

Показано, что наложение магнитного поля на индукционный разряд, возбуждаемый плоской ВЧ-антенной, приводит к значительному росту плотности плазмы и распространению зоны ее активной генерации на весь объем разрядной камеры. ...
Повышение эффективности геликонного разряда в сходящемся магнитном поле

Вирко, В.Ф.; Шамрай, К.П.; Кириченко, Г.С.; Вирко, Ю.В. (Вопросы атомной науки и техники, 2003)

Показано, что возрастание эффективности генерации плазмы в геликонном разряде в сходящемся магнитном поле по сравнению с разрядом в однородном поле существенно зависит от градиента поля в области антенны. Зондовыми и ...
Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок

Руденко, Е.М.; Короташ, І.В.; Семенюк, В.Ф.; Шамрай, К.П. (Наука та інновації, 2009)

Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, ...

Результати 1-4 з 4

Пошук

Розширений пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Перегляд за автором "Шамрай, К.П."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд за автором "Шамрай, К.П."

Пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Мій обліковий запис