Форш, П.А.; Форш, Е.А.; Мартышов, М.Н.; Тимошенко, В.Ю.; Кашкаров, П.К.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Обнаружено, что термическое окисление оказывает различное влияние на проводимость слоев пористого кремния, измеряемую вдоль различных кристаллографических направлений, что можно объяснить наличием потенциальных барьеров ...