Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд за автором "Толмачева, Г.М."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд за автором "Толмачева, Г.М."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням 
    Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Синельниченко, О.К.; Дуб, С.М.; Литвин, О.С.; Тимофєєва, І.І.; Толмачева, Г.М. (Сверхтвердые материалы, 2015)
    Тонкі плівки Si–C–N осаджено на кремнієві підкладки реактивним магнетронним розпиленням кремній-вуглецевої мішені на постійному струмі та при різних співвідношеннях потоків азоту FN2 і аргону FAr. Для дослідження структури, ...
  • Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття 
    Порада, О.К.; Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Дуб, С.М.; Толмачева, Г.М. (Сверхтвердые материалы, 2016)
    Аморфні SiCN-покриття було осаджено на кремнієві підкладки методом плазмохімічного осадження (PECVD) з використанням гексаметилдісилазану в якості основного прекурсора. Досліджено вплив температури осадження на структуру, ...