Тесленко-Пономаренко, В.В.
(Вопросы атомной науки и техники, 2003)
Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены ...