Джангидзе, Л.Б.; Тавхелидзе, А.Н.; Благидзе, Ю.М.; Талиашвили, З.И.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Предложены различные технологические приемы, позволяющие получить правильную геометрию электрода в процессе электроосаждения меди и уменьшить внутреннее напряжение осаждаемого слоя.