Сысоев, Ю.А.; Сердюк, И.В.; Доломанов, А.В.; Ковтеба, Д.В.
(Вопросы атомной науки и техники, 2017)
Предложен метод создания газовых смесей, предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Особенностью метода является предварительная циклическая продувка смесительной камеры для ...