Евсюков, А.Н.; Завьялов, Ю.Г.; Стеценко, Б.В.; Щуренко, А.И.
(Вопросы атомной науки и техники, 2008)
Вычислены режимы напыления бинарных соединений магнетроном и переходы его равновесной зависимости из области неустойчивости к абсолютной устойчивости. Область перехода зависит от скорости откачки камеры магнетрона, соотношения ...