Горох, Г.Г.; Соловей, Д.В.; Лабунов, В.А.; Осинский, В.И.; Мазунов, Д.О.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2011)
Разработан и исследован метод формирования перфорированных плёнок АОА с регулярной ячеисто-пористой структурой и удалённым барьерным оксидным слоем при анодной поляризации системы Al/n-Si. Отработаны технологические режимы ...