Перегляд за автором "Слепцов, В.В."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления 
    Бизюков, А.А.; Середа, К.Н.; Кашаба, А.Е.; Ромащенко, Е.В.; Чибисов, А.Д.; Поневчинский, В.В.; Слепцов, В.В. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
    Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения ...
  • Сильноточный магнетронный разряд с магнитоизолированным анодом 
    Бизюков, А.А.; Середа, К.Н.; Слепцов, В.В. (Вопросы атомной науки и техники, 2008)
    В магнетронном разряде при токах, выше критического, величина которого лежит в пределах 15…30 А, происходит переход из тлеющего разряда в поперечном магнитном поле в дуговой. В настоящее время проблема дугогашения решается ...