Порада, О.К.; Іващенко, В.І.; Іващенко, Л.А.; Козак, А.О.; Ситіков, О.О.
(Сверхтвердые материалы, 2019)
Приведено основні принципи створення на базі вакуумного універсального поста ВУП-5(М) та подальшого використання плазмохімічного устаткування для осадження тонкоплівкових, у тому числі наношарових, матеріалів із парів ...