Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Синельниченко, О.К.; Дуб, С.М.; Литвин, О.С.; Тимофєєва, І.І.; Толмачева, Г.М.
(Сверхтвердые материалы, 2015)
Тонкі плівки Si–C–N осаджено на кремнієві підкладки реактивним магнетронним розпиленням кремній-вуглецевої мішені на постійному струмі та при різних співвідношеннях потоків азоту FN2 і аргону FAr. Для дослідження структури, ...