Иващенко, В.И.; Дуб, С.Н.; Скрынский, П.Л.; Погребняк, А.Д.; Соболь, О.В.; Толмачева, Г.Н.; Рогоз, В.Н.; Синельниченко, А.К.
(Сверхтвердые материалы, 2016)
Проведены исследования структуры и механических свойств тонких пленок системы Nb–Al–N, полученных при магнетронном распылении мишеней из ниобия и алюминия в атмосфере Ar–N₂. Показано, что с ростом концентрации алюминия ...