Стервоедов, А.Н.; Береснев, В.М.; Сергеева, Н.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2010)
В работе на примере измерения параметров ультратонких (3 – 5 нм) TiNx пленок показана возможность использования рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины и сплошности пленок наноразмерной толщины. ...