Родионов И.А., И.А.; Макарчук, В.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.