Фирстов, С.А.; Куликовский, В.Ю.; Рогуль, T.Г.; Ctvrtlik, R.; Пономарев, С.С.; Ковыляев, В.В.; Зелявский, В.Б.
(Наноструктурное материаловедение, 2011)
В работе представлены результаты исследования влияния малых добавок кислорода и азота на структуру и механические свойства пленок титана, полученных магнетронным распылением. Показано, что увеличение в пленках концентрации ...