Лисовский, В.; Бут, Ж.П.; Ландри, K.; Дуэ, Д.; Ренар, Г.; Касань, В.
(Физическая инженерия поверхности, 2005)
Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в
плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод
основан на измерении координат точки поворота на кривой ...