Гордиенко, Ю.Е.; Пятайкина, М.И.; Полищук, А.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2015)
В статье представлены результаты численного исследования высоколокального СВЧ разогрева тонких пленок полупроводников и диэлектриков на высокоомной подложке кремния. Сравнение с ранее опубликованными нами результатами ...