Перегляд за автором "Петухов, В.В."

Результати 1-3 з 3

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

Дуб, С.Н.; Гончаров, А.А.; Петухов, В.В. (Сверхтвердые материалы, 2009)

Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические ...
Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок

Петухов, В.В.; Гончаров, А.А.; Коновалов, В.А.; Терпий, Д.Н.; Ступак, В.А. (Физическая инженерия поверхности, 2005)

Пленки ТаВ₂ были синтезированы ВЧ магнетронным распылением мишени ТаВ₂ на стеклянные и ситалловые подложки. Исследовано влияние параметров распыления магнетронной распылительной системы на состав и толщину покрытий ...
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов

Гончаров, А.А.; Дуб, С.Н.; Агулов, А.В.; Петухов, В.В. (Сверхтвердые материалы, 2015)

Исследовано влияние условий осаждения на структуру, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления. Показано, что в зависимости от приложенного ...

Результати 1-3 з 3

Пошук

Розширений пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Перегляд за автором "Петухов, В.В."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд за автором "Петухов, В.В."

Пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Мій обліковий запис