Одиноков, В.В.; Павлов, Г.Я.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011)
Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических ...