Лунёв, В.М.; Непипенко, И.П.; Решетняк, Е.Н.; Колодий, И.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Исследованы характеристики вакуумно-дуговых покрытий, состоящих из чередующихся слоев TiN и слоев TiN, легированных Сu при одновременной работе источника с титановым катодом в постоянном режиме, а с медным катодом в ...