Дранчук, С.Н.; Завадский, В.А.; Мокрицкий, В.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013)
На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет ...