Алтухов, А.А.; Митягин, А.Ю.; Могучев, А.В.; Митягина, А.Б.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. ...