Кузин, А.А.; Заблоцкий, А.В.; Батурин, А.С.; Лапшин, Д.А.; Мелентьев, П.Н.; Балыкин, В.И.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2009)
В данной статье предлагается способ создания массива микролинз, предназначенных для атомной проекционной нанолитографии, на мембране
Si3N4 толщиной порядка 40 нм. На мембрану напыляется проводящая
пленка толщиной порядка ...