Клето, Г.И.; Мартынюк, Я.В.; Савчук, А.И.; Стребежев, В.Н.; Обедзинский, Ю.К.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2009)
Сегнетоэлектрические пленки цирконата-титаната свинца (ЦТС) толщиной 100—120 нм получены методом ВЧ-катодного распыления пьзоэлектрической керамики ЦТС-19 на стандартных кремниевых пластинах, предварительно покрытых ...