Марончук, И.Е.; Кучерук, А.Д.; Ерохин, С.Ю.; Чорный, И.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Продемонстрирована возможность создания различных типов датчиков давления на низкоразмерных структурах. Предложены принципиально новые пути расширения динамического диапазона и линейности нагрузочных характеристик ...