Кудрик Я.Я.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013)
Исследована связь между антидиффузионными свойствами пленок на основе TiB₂ и их нанокристаллической структурой, определены оптимальные размеры нанокристаллитов и условия образования нанокристаллической пленки. Применение ...