Щербакова, Г.Ю.; Дилевский, А.А.; Крылов, В.Н.; Логвинов, О.В.; Плачинда, О.Е.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011)
Предложен метод, основанный на применении субградиентного итеративного метода оптимизации в пространстве вейвлет-преобразования, который удовлетворяет требованиям задачи автоматизированного оптического контроля фотошаблонов ...