Беляева, А.И.; Галуза, A.A.; Киселев, В.К.; Коленов, И.В.; Савченко, А.А.; Кулешов, Е.М.; Серебрянский, С.Ю.
(Радіофізика та електроніка, 2014)
Ранее было выдвинуто предположение, что локализованные дефекты при определенных условиях могут не влиять на эллипсометрические данные. Целью работы является проверка этой гипотезы путем проведения систематических исследований ...