Каплун, В.Г.
(Физическая инженерия поверхности, 2003)
Изложены особенности формирования диффузионного слоя при ионном азотировании в плазме
тлеющего разряда в безводородных газовых средах (смеси азота с аргоном). Показано, что наличие аргона
в насыщающей среде меняет кинетику ...