Казаков, А.И.; Андриянов, А.В.; Миронов, В.С.; Поляруш, О.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
Предложена методика расчета параметров пленок многокомпонентной системы HfO₂—Nd₂O₃, полученных электронно-лучевым напылением в вакууме, с неоднородным распределением компонентов по толщине. Данные расчета хорошо коррелируют ...