Полтавцев, Ю.Г.; Вирченко, П.Т.; Костюк, В.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С ...