Венгер, Е.Ф.; Литвин, П.М.; Матвеева, Л.А.; Митин, В.Ф.; Холевчук, В.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2014)
Исследована технология конденсации в вакууме тонких нанонеоднородных пленок Ge на полуизолирующие подложки GaAs (100). Использованы методы атомно-силовой микроскопии, оптической спектроскопии, измерения внутренних механических ...