Палагин, А.В.; Боюн, В.П.; Яковлев, Ю.С.
(Управляющие системы и машины, 2017)
Показан перечень проблем с их взаимосвязями при переходе элементной базы на уровень нанотехнологии. Определены особенности нанотехнологии каждого типа (молекулярной, оптической – фотонной, квантовой, ДНК, НЭМС, МЭМС), ...