Куликовский, В.Ю.; Ворличек, В.; Богач, П.; Страйнянек, М.; Чтвертлик, Р.; Курдюмов, А.В.; Горбань, В.Ф.
(2008)
Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх ...