Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Konovalov, V.G. | |
| dc.contributor.author | Makhov, M.N. | |
| dc.contributor.author | Ryzhkov, I.V. | |
| dc.contributor.author | Shapoval, A.N. | |
| dc.contributor.author | Shtan’, A.F. | |
| dc.contributor.author | Skorik, O.A. | |
| dc.contributor.author | Solodovchenko, S.I. | |
| dc.contributor.author | Timoshenko, A.I. | |
| dc.contributor.author | Voitsenya, V.S. | |
| dc.date.accessioned | 2016-01-06T12:03:16Z | |
| dc.date.available | 2016-01-06T12:03:16Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.identifier.citation | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma / V.G. Konovalov, M.N. Makhov, I.V. Ryzhkov, A.N. Shapoval, A.F. Shtan’, O.A. Skorik, S.I. Solodovchenko, A.I. Timoshenko, V.S. Voitsenya // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 146-148. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1562-6016 | |
| dc.identifier.other | PACS: 52.50.Sw | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90955 | |
| dc.description.abstract | The dynamics of interference figure of the reflection spectrum for stainless steel and copper mirrors with specially deposited carbon-containing film (ɚ-C:H) were studied when the film was gradually eroded under impact of a deuterium plasma produced in conditions of electron cyclotron resonance (ECR). The refraction coefficient of the film was estimated and the rate of the film removal was obtained. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Досліджувалася динаміка інтерференційної картини спектру віддзеркалення сталевих і мідних дзеркал з штучно нанесеною вуглецьвмісною плівкою (a-C:H) по мірі розпилювання в дейтерієвій плазмі ЕЦР-розряду. Проведена оцінка коефіцієнта заломлення плівки. Отримана кількісна оцінка швидкості розпилювання. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Исследовалась динамика интерференционной картины спектра отражения стальных и медных зеркал с искусственно нанесенной углеродсодержащей пленкой (a-C:H) по мере распыления в дейтериевой плазме ЭЦР-разряда. Проведена оценка коэффициента преломления пленки. Получена количественная оценка скорости распыления. | uk_UA |
| dc.language.iso | en | uk_UA |
| dc.publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Вопросы атомной науки и техники | |
| dc.subject | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии | uk_UA |
| dc.title | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma | uk_UA |
| dc.title.alternative | Імітаційні дослідження плазмохімічної ерозії a-C:H плівки в плазмі ЕЦР-розряду | uk_UA |
| dc.title.alternative | Имитационные исследования плазмохимической эрозии a-C:H плёнки в плазме ЭЦР-разряда | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
